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从美国到东方,用了足足二十天,从魔都到首都,只用了三四个小时,看到来阳集团给自己包机,林本坚的心中升起了莫名的感动。
第二天,来光。
“来,让我们用热烈的掌声,欢迎林博士的到来!”徐教授第一个鼓掌。
“徐教授,当年,你在光刻机上有很深的造诣,硅谷这边,还有岛国那边,有很多光刻机专家,对你都是赞不绝口,听说你后来转行研究光盘,大家伙都很失望,你要是到硅谷……”
林本坚是光刻机领域的技术大能,他此时,不知觉中,就是一幅高高在上的态度,俯瞰芸芸众生一样。
徐教授笑了笑:“我生在这里,长在这里,绝对不会把自己知识财富,贡献给西方的,还好,我们有了来阳集团,对了,我们还是说技术吧,我给您介绍一下我们的计划。”
“好,让我听听你们距离世界先进水平还有多少年的差距。”
“目前,华清大学高能物理研究所已经能生产ArF激光器,光学专业那边已经能磨制相关的镜头,自动化专业那边已经能完成……”
林本坚睁大了眼睛:“这么说,你们已经能制造193纳米光刻机了?”
“是的,我们计划在一年之内,完成样机调试,三年内,形成产业化,这样可以将我们国产的芯片技术推进到90纳米。”
现在只能生产微米芯片,也就是180纳米,这主要还是光刻机的限制,数量不够,如果多次投影曝光的话,会严重占用产能,等以后,相关光刻机大量投产,利用这种光刻机,就能继续推进工艺进展!
130纳米、90纳米……这些工艺制程都能攻克!
当然,光刻机只是其中一步,其他的工艺,都需要中芯国际来研究,这个不是说句话就能完成的。
“那之后的技术路线呢?”
“我们计划使用浸润式光刻机技术,通过在镜片和光源之间通入水,来让光源缩短到134纳米,解决65纳米和45纳米制程的需求。”
林本坚瞬间一喜:“你们也想要用浸润式方案?”
“没错,我们认为,这是最合适的技术路线,现在,我们已经做了大量的预研工作,您请看大屏幕。”
PPT投影上去,林本坚看着那些方案,和自己研究的简直一模一样!
“没想到,没想到,这里能成为我发展的舞台!”林本坚喃喃地说道,语气中带着激动。
当初选择来东方,是无奈下做出的,是为了活命,现在,来到这里,才突然发现,居然能发挥自己的专长!自己苦思冥想的那些东西,和这里人的想法不谋而合!
太棒了!
今后,就扎根在这里,做出世界上最先进的光刻机来!
他不是没有提过浸润式的方案,但是,当他说出来的时候,所有人都会认为这是天方夜谭!而这里,居然在踏踏实实地走这条路线!
之前只是能留住他的人,现在,这番展示,彻底留住了他的心!
他当然不会知道,当那些自称龙组的人到他家之后,搜出来光盘,直接就复刻了一份,原版在他的手提箱里,复制出来的光盘,早就送到了这里,现在大家伙说的,都是他自己的技术!
技术大牛就此留下,东方的来光,取代了AMSL,即将成为全世界光刻机的大佬!
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