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第659章 光刻机里的DPP方案(第2页)

……

……

两天后,陈平江已经从沪上赶往了祖国的最北端。

在哈工大的校园里,陈平江见到了赵永鹏。

“哈哈,陈董,虽是初次见面,却已经神交已久啊。”

赵永鹏亲热的同陈平江握手。

陈平江笑眯眯道:“赵教授不必客气叫我小陈就好,今天我过来是特意对您的卓越贡献表示感谢的。”

陈平江说不用客气,赵永鹏哪里敢真的叫他小陈,只当是客套话。

“军功章也应当有你的一半,如果不是之前您的资助和多方面协助,我们也不会如此顺利。”

赵永鹏招招手,“我们去实验室看看。”

陈平江来到哈工大,之前已经和校方打过招呼,希望低调处理,这才没有引起围观。

这次过来完全是因为赵永鹏团队顺利研发出“放电等离子体极紫外光刻光源”

的缘故。

这个项目,陈平江已经跟了好几年,前后资助不下2000万,并且表示不要任何知识产权,如今终于到了开花结果的时候。

宽敞明亮的实验室内。

陈平江身着无尘服,戴着口罩仔细听着赵永鹏介绍。

“在演示之前,我有必要说下。

这台机器的光源焦点功率只有43瓦,与asml的最近两代EUV光源250-500瓦,差距还是巨大的,目前只能称之为实验室阶段,不过我们团队有信心,在两年内将功率提升到200瓦。”

陈平江点了点头,表示理解。

毕竟在EUV中光源也只是一部分,还需要其他十万个零件一起协同配合。

但不管怎么说,也搞定了最关键的一个部分。

在当前的EUV光刻机技术上,存在两种光刻机技术路线。

一种是DPP方案(放电产生等离子体),一种是LPP方案(激光产生等离子体)。

当前全球唯一一家能生产EUV光刻机,垄断了全球高端光刻机市场的公司——荷兰ASML公司,采用的就是LPP方案。

哈工大的这个“放电等离子体极紫外光刻光源”

,从名字上就能看出它走的是DPP方案。

DPP方案最大的一个问题就是光源的焦点功率不足。

光刻机的光源是用来烧石头(单晶硅)的,功率不足自然就烧不动,也就没法蚀刻出芯片。

好在,因为专利的限制,当前中国走DPP方案的EUV光刻机研究,是要比走LPP方案容易的。

虽然当前DPP方案还无法商用,暂且无法用在EUV光刻机身上,但DPP方案技术是会进步的。

DPP方案本身优势也不小,比如光源稳定、对清洁度要求低,以及成本更低。

并且,陈平江也不会将鸡蛋放在一个篮子里。

除了哈工大这头,XX光电所和沪上某家研究所都有资助,大家进度不一,路线也不同。

任何一方取得最终突破,都会大大提前国产EUV光刻机问世的时间。

侦探秦仁杰  长生自元阳尽泄开始  麋芳不投降:大哥别打了!  人在大明,无法无天  凡人后  玄幻:我的机缘每日刷新  我主不朽  阴间直播间:封我账号?我揍你爹  家父雷电法师  说好练武,你一拳爆星什么鬼?  斗罗:我有一剑,可无敌于世间  重生高武:不当怨种后,悔哭黑丝女神  遭遇过打击的股神  末日!别人求生,我游山玩水  这个导演全能但有病  修仙,觉醒情报系统  每日签到:我在诡异世界当捕快  半岛恋爱定格  短跑:这位冠军有点怪  四合院:虐爆众禽,我反手娶于莉  

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