手机浏览器扫描二维码访问
第187章 极紫外光源的进展（第1页）
光学技术研发实验室
徐华和李默这两位负责人正在为极紫外光源技术的几个问题进行讨论。
“李博士，虽然我们有复眼镜头的加持，但是在靶材、碎屑污染也是问题啊！”
徐华有些犯愁。
虽然说蜂巢复眼镜头技术的出现，从某种程度上解决了极紫外光源的核心镜片问题，但是仍旧有一些问题存在。
众所周知，euv极紫外光刻机最为关键的部件就是极紫外光源，这就不用多说了。
话说，，，版。】
而极紫外光源主要有五大关键的问题技术需要攻破，才能正式制造出该光源。
其一是多层膜反射镜，由于euv光源子能量极高，几乎可被所有介质所吸收，较高的反射率可以极大提高光源性能。
而经过研究发现，采用osi多层膜制备出的反射镜对中心波长为135n、光谱带宽在2以内euv光的反射率可达70。
而这一技术在许黎拿出复眼镜头技术之后，经过一番实验后也攻克了。
其二——靶材，为降低离子碎屑、提高euvce，人们开始逐渐减小sn靶的尺寸，并最终将液滴sn靶作为主要研究对象。
但是液滴sn的时空的不稳定性，也给光刻机光源的设计和制造增加了难度。
其三其四分别是驱动光源和双脉冲模式，这里不过多讲解。
最后就是碎屑污染的问题，激光等离子体通过激光将入射到靶材产生高温、高密度的等离子体并辐射euv光，其过程必然会产生一定的碎屑由熔融液滴、微粒团簇、中性碎屑原子和高能离子组成。
这些碎屑不处理好的话，也会损坏光刻机光学元件，进而影响其性能，甚至对人体健康也有一定的影响。
目前市售euv光刻机产品均采用将充入惰性气体或氢气和外加磁场相结合的方案除去碎屑，当然也可以采用双脉冲方案去除。
不过这两种方案皆是不适用于现在所设计的光源。
所以还需要重新商讨和设计一个去除碎屑的方案。
“怎么了？看你们愁眉苦脸的样子。”
一道熟悉的声音在他们耳边响起。
两人转过头去，原来是许黎来了。
他才从施工现场回来，想到最近的euv光源项目研究进展，就顺道过来看看。
“校长，我们正在讨论两个光源的关键难题呢”
李默解释道，将刚才他们讨论的问题大概说了一遍。
“嗯，这的确是个问题”
许黎摸着下巴。
“要不我们可以这样”
许黎提出了自己的想法。
首先，既然碎屑污染必定会产生，无论是选择哪种方案，都会不可避免地产生碎屑，很多去除碎屑的方法基本基本是阻挡缓冲的作用。
那为何不反过来将其吸收转化，既能大大提高利用率，也能很大程度上减少碎屑污染的问题。
接着靶材方面的话换成锡就可以了，虽然可能会产生不少碎屑，但是只要将吸收转化器做出来，基本能够搞定这个问题，而且也不会加重光源的设计难度。
“妙啊！校长，你这个想法或许具有较大的可行性！”
徐华眼睛一亮。
“这也算是一个取巧的办法，短期内可以用于去重新研究新靶材，这样也省了很多时间。”
李默也觉得这个想法不错。
“既然如此，我们赶紧试一下，不过我对极紫外光源的一些关键技术还不是很懂，等会也只能搭把手了。”
许黎笑了笑。
直播间卖鱼竿，轰动军工界！ 重生后，蛇蝎美人她被哥哥掐腰宠 谁说我是恶魔的？ 我！反派头子，主角们心态崩了 任务是摸一百次毛茸茸 清道俗人 从爱情公寓开始的位面之旅 我的放置修仙模拟器 海贼世界的斩龙武士 大明：国舅凶猛 西幻：从鹰人部落到天使帝国 问剑 在下姓白 八零养崽：清冷美人被科研大佬宠上天！ 莫挨，我转修无情道了 玉竹是个捉妖师 不随便的日记 重生从投资女神开始 美剧特工的日常生活 灵异：我得到了天师渡！
刚重生，差点又醉死
这是一部写平头老百姓生活的小说，西南边陲小镇的唐建军醉死后魂穿到1988年自己身上，在这个摸着石头过河充满激情的年代，他将怎么重启自己的人生？故事主要写日常生活，没有其他穿越者拳打杭州马，脚踢深圳腾，摩擦某东狗的能力，猪脚就是带着多一世的记忆在世上正常生活，凭借多出来的记忆努力活着，顺便让家人过好一点，仅此而已。...
只想留你在身边
十五岁相识，二十五岁结婚，始终坚定一个人，从校服到婚纱的爱情容易退缩的女主遇上腹黑又心机的男主…女主想要退出现在的生活，把人生轨迹还给真千金，面对腹黑的恋爱脑，那是不可能的！至此开启她逃他追的双向奔赴…王初暖成了真假千金里的假千金，起初她想要和平相处，但是面对王初夏的针对和父母的关爱不再，她决定退还一切，不争不抢。...
史上最强店主
史上最强店主简介emspemsp关于史上最强店主商通万界，让所有人给我打工。周阳意外获得万界商铺系统，交易万千位面。我曾举行一次小型拍卖会，来到的皇帝就有一百多位，听说还有两个叫李世民的皇帝。我曾让神雕世界的所有人，帮我养殖菩斯曲蛇。我曾发动海贼世界的所有人，出海帮我寻找恶魔果实。这是周阳获得万界商铺系统，成为史上最强店主的故事。新书史上最牛主神正在连载！！！不同的故事，相同的精彩！！！...
约定一生的爱
夏日的北京，繁忙的街道上充满了熙熙攘攘的人群和车辆。刚刚从瑞士大学回国度假的李晨曦站在首都机场的出口，深深地吸了一口气，感受着熟悉而又陌生的空气。作为一个在一线城市长大的男孩，他对北京的一切并不陌生，但离开了一段时间，再次回来却有一种久违的亲切感。李晨曦走出机场，搭乘出租车前往市中心的家。他的家位于繁华的商业区，周...
前夫袭爱：老婆离婚无效
前夫袭爱老婆离婚无效简介emspemsp关于前夫袭爱老婆离婚无效如果你遇见自己逃走出去几年不见的老婆扑倒在你的西装裤下，你会怎么做？秦子衍说，把她洗干净带到我房里去。如果你遇见曾经伤害过你，但几年不见仍对你旧情难忘的前夫，你会怎么...
腹黑竹马：小青梅，吃不够！
乖，给我。不要！这是原则问题！某吃货少女抱着一大堆零食誓死不从。他唇角带笑我做了二十八道菜。她冷静的上缴所有零食，嗲声嗲气亲爱的！你比零食重要！他是冷面的腹黑总裁，运筹帷幄决胜千里，但这都不重要！重要的是，他厨艺技能满点，追妻路上拿着锅铲遥遥领先。而把他改造成这样的小丫头采访中，她郑重其事我要吃一吨小龙虾！记者？？？跟谁说…如果您喜欢腹黑竹马小青梅，吃不够！，别忘记分享给朋友...